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    氫化物氣體檢測分析儀

    【型  號】FP-260
    【品  牌】日本理研RIKEN
    【價  格】洽詢
    氫化物氣體檢測分析儀FP-260
    【主要技術指標】檢測半導體各種氣體
    【詳細技術指標】
    詳細介紹
    工業半導體凈化室的理想檢測儀
    更適于低濃度氣體檢測(ppm級)
    抗干擾性強
    盒式帶取放簡便
    盒帶剩余量顯示
    功能描述
    使用盒式紙帶的光電光度學原理
    盒式紙帶,VHS型快速更換型盒帶
    AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在檢測狀態耗能為35VA,在紙帶卷動時耗能為60VA)
    物理特性
    370mm
    275mm
    220mm
    約12kg
    持有證書
    CE
    其它
    檢測氣體和范圍
    檢測氣體
    TLV值
    檢測范圍
    解析值
    磷 PH4
    300ppb
    0--900ppb
    5
    四氫化硅 SiH4
    5ppm
    0--15ppm
    0.25
    乙硼烷 B2H6
    100ppb
    0--300ppb
    5
    砷烷AsH3
    50ppb
    0--150ppb
    1
    乙硅烷 SiH6
    5ppm
    0--10ppm
    0.1
    硫化氫 HS2
    10ppm
    0--100ppm
    1
    光氣 COCl2
    100ppb
    0--300ppb
    2
    氯氣 Cl2
    0.5ppm
    0--100ppb
    1
    硒化氫 H2Se
    50ppb
    0--300ppb
    2
    撥打電話
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